4寸晶圆片小型真空烧结炉 陶瓷高真空高温烧结炉

    4寸晶圆片小型真空烧结炉 陶瓷高真空高温烧结炉

  • 2022-09-06 17:07 840
  • 产品价格:面议
  • 发货地址:江苏苏州 包装说明:不限
  • 产品数量:2.00 台产品规格:不限
  • 信息编号:240945745公司编号:23090707
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昆山艾科迅机械有限公司

用途:陶瓷的烧结、纯化、高温清洗。

1. 开炉取料型式:立式手动上出料 

2. 主要技术参数

有效温区尺寸

Φ200×300mm

坩埚外径尺寸

加热器

石墨桶发热体


隔热屏材料

高纯石墨化软毡+硬毡


装炉量

20Kg


温度

2000℃


工作温度

1900℃

1500℃测温环测温

加热功率

90KVA


升温速率

0~20℃/min(可调)


控温精度

±0.1% F S


极限真空度

5x10-3Pa


工作真空度

5x10-2Pa


压升率

0.5Pa/h


工艺气氛

真空/氩气

单气浮子流量计

炉内压力

压力0.02Mpa

充气压力0.04Mpa

 

 

3. 结构说明

该设备包含炉体、支撑炉体的架台组件、炉门锁紧机构、炉门升降机构、真空系统、热场、温度测量与控制系统、电气控制系统、冷却水系统、压缩空气系统以及工艺气氛系统。

3.1 炉体

炉体主要由腔体、上炉盖、下炉盖组成。

3.2.1腔体为双壁水冷结构,内外壁及法兰均选用优质304不锈钢,内表面精抛处理,外表面拉丝处理;腔体底部周围焊接有四套耳式支座,与架台上平面连接。

腔体设计接口如下:

接口名称

规格

数量

排气口

DN200

1

压力变送器接口

G1/4”

1

真空电离规接口

PG15

1

真空电阻规接口

PG15

1

热电偶接口

Φ8

1

双色红外测温


1

冷却水接口

G3/4”

2

工艺气氛接口

NPT3/8”

1

3.2.2 上炉盖采用整块304不锈钢厚板加工而成, 内表面精抛处理,外侧中部加工环形水槽,使炉盖得到充分冷却。

上炉盖设计接口如下:

接口名称

规格

数量

电极引出接口

江苏苏州昆山开发区蓬朗六时泾路28号3幢,负责人是徐晓伟。
联系手机是18550865882, 主要经营真空炉、一体式真空炉、真空钎焊炉、小型真空炉。
单位注册资金单位注册资金人民币 500 - 1000 万元。

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