如何调节洁净厂房的温湿度?
洁净厂房有两个非常重要的一点,即车间的温度和湿度。如果控制不当,会引起人和设备的不适。如何调节这些温度和湿度?
如何调节洁净厂房的温湿度?
1.作为洁净厂房的总体标准,由于加工精度越来越细致,对温度波动范围的规定越来越小。
2.相对湿度在40%到60%之间,也是人们感到舒适的合适范畴。温湿度过高会让人感到窒息,而湿度小于30%会让人感到干燥和缓慢。
3.当相对湿度**过55%时,冷却循环水壁厚上的冷凝水如果产生在高精度设备或电源电路上,会立即造成各种安全事故,如腐蚀。
4.相对湿度在35%到40%之间可以作为较满意的,半导体材料净化车间.净化室一般采用额外的操作设备来限制静电的积累。
5.由于光刻胶对相对温湿度较为敏感,对洁净厂房相对湿度的控制范围有非常严格的规定。
6.洁净厂房的温湿度主要根据加工工艺规定明确,但在考虑加工工艺规定的标准时,要充分考虑人的舒适性。随着气体洁净度等级规定的提高,加工工艺对温湿度的规定越来越严格。