江苏天瑞仪器股份有限公司
较薄可测试:0.005um较多可测试层数:5层原理:X荧光光谱检测器类型:SDD探测器算法:FP基本参数
利用天瑞仪器的explorer5000镀银层测厚仪分析一系列铜镀银样品,所得结果如下表。各个数据点相关系数为0.996,线性相关性非常好。当银厚度为1-30 μm 范围内,测量值与标称值平均误差为0.6 μm, 30-60 μm 范围内平均误差为 1.3 μm,相对误差小于4%,在可接受范围以内,测厚范围可达1-60 μm。
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